关于博润
精至微纳 • 博润微电
公司介绍
湖南博润微电半导体科技有限公司
湖南博润微电半导体科技有限公司是一家以材料应力研究技术为依托，专注于光刻与量测装备超精密零部件及核心模组的研发、生产、销售于一体的高科技企业。致力于以"材料微变形控制研究＋超精加工工艺＋表面处理技术+装配调试能力"全链条模式，驱动半导体装备核心零组件的国产替代。
公司秉持"匠心打造光刻与量测装备超精密零部件及核心模组"的发展理念，已为国内首台90nm制程电子束光刻机（EBL）提供CHUCK盘、光学柱及运动平台全套模组，陆续开发成功50nm、28nm制程电子束掩膜板光刻机（VSB）精密运动平台模组，具备半导体超精密零部件及核心模组的国产化能力。
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专利证书
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