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超精密气浮运动平台及模块（小批量供货）

所属分类：

高精密气浮运动平台

关键词：

产品详细

我司已开发以及待开发的各型号气浮工件台：

序号	型号	重复定位精度	项目状态
1	BR180i-c	±140nm	已小批量供货
2	BR180i3	±120nm	已小批量供货
3	BR180i2	±70nm	已小批量供货
4	BR235i	±15nm	待开发（预计2027年）

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