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4*3英寸晶圆Chuck盘\电子束光刻机4/6/8英寸Chunck盘（平整度：≤0.003mm）
目前，我司电子束光刻/量检测晶圆Chuck盘产品：兼容4/6/8英寸型号已实现量产批量供货（中电科48所）；且4*3″型号已通过HW海思工艺验证；完全具备半导体核心零部件模组国产化替代的能力。
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